Hach China
400-686-8899 / 800-840-6026

工程案例   |  工程案例

FBM-160 氟離子濃度分析儀在半導(dǎo)體廠總排口的應(yīng)用

2024-06-19,星期三

FBM-160 氟離子濃度分析儀在半導(dǎo)體廠總排口的應(yīng)用

背景介紹

上海市某半導(dǎo)體廠,專注于研發(fā)和制造專業(yè)應(yīng)用的晶圓。晶圓生產(chǎn)工藝復(fù)雜,其中蝕刻工序使用氫氟酸溶液進(jìn)行蝕刻、并用高純水清洗,在這個工序中產(chǎn)生了大量的高濃度含氟廢水,含氟廢水經(jīng)過加藥、混凝沉淀處理后達(dá)標(biāo)排放。

該半導(dǎo)體廠在總排口處安裝了一臺FBM-160 氟離子濃度分析儀。根據(jù)國標(biāo)《污水綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》(GB8978-1996)以及上海市環(huán)境保護(hù)局發(fā)布的地方標(biāo)準(zhǔn)《半導(dǎo)體行業(yè)污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》(DB31),該半導(dǎo)體廠執(zhí)行三級標(biāo)準(zhǔn),其總排口的氟限值為 20mg/L。

氟離子濃度分析儀的現(xiàn)場圖如下圖所示,控制器采用管式安裝,電極采用浸入式安裝。

FBM-160 氟離子濃度分析儀在半導(dǎo)體廠總排口的應(yīng)用

應(yīng)用情況

FBM-160 氟離子濃度分析儀采用氟離子選擇電極法,監(jiān)測方法符合國標(biāo) GB7484-1987。氟離子濃度分析儀結(jié)構(gòu)簡單,氟離子電極現(xiàn)場采用浸入式安裝,在無選配自動清洗組件的前提下,每月人工清洗一次電極,三個月校準(zhǔn)一次電極。在正常維護(hù)條件下,每年更換一次氟離子電極。現(xiàn)場安裝方便,維護(hù)較簡單,測量值均低于 20 mg/L,和實驗室比對數(shù)據(jù)良好,符合用戶的測量要求。

總結(jié)

FBM-160 氟離子濃度分析儀采用國標(biāo)方法監(jiān)測——氟離子選擇電極法,不消耗試劑,可更換電極頭,減少維護(hù)費(fèi)用;安裝簡單,可在現(xiàn)場采用浸入池中安裝,也可以在排口采用流通式安裝??蛇x配自清洗組件,減少用戶的人工清洗工作;具備多個量程,0~99.9 mg/L;0~999 mg/L或0~9990 mg/L,滿足含氟廢水進(jìn)排口的不同測量范圍需求。

FBM-160 氟離子濃度分析儀廣泛應(yīng)用于電子行業(yè)的含氟廢水監(jiān)測,在正常維護(hù)下,能夠滿足用戶廢水總排口的測量需求。

您的瀏覽器版本過低,存在重大安全隱患,請升級到IE10以上,或使用最新版ChromeFirefox瀏覽,謝謝
請哈希與我聯(lián)系